光学関連半導体・計測
ニコン、ウエハー歪み計測の新型「Litho Booster 1000」を投入一計測精度を約35%向上
ニコンは8月25日、半導体露光前にウエハーの歪みを計測するアライメント計測装置の新機種「Litho Booster 1000」を2027年1月に発売すると明らかにした。ホルダー構造の刷新と光源強化により、従来機比で計測精度を約35%、生産性を約10%向上させる。
光学式アライメント計測は先端ロジック・HBMの歩留まりを左右する基盤技術であり、シリコンフォトニクスの量産でも導波路とグレーティングカプラの位置精度確保に直結する。CPO実装が微細化・多層化するほど高精度光計測の重要性が増す。
引用元：ニュー スイッチ
