光学関連3次元計測・光コム
新潟大など、光コムと正弦波位相変調を組み合わせ「盲領域」を解消する3次元計測手法を開発
新潟大学・岐阜大学・大阪大学の研究グループは、光周波数コムと正弦波位相変調(SPM) を組み合わせ、従来の光コム干渉計測で生じていた測定不能な「盲領域」を解消する新たな3次元計測手法を開発した。
光コム測距は絶対距離を高精度に測れる一方、干渉条件による不感帯が実装上の制約となってきた。制約が外れれば半導体・精密加工の形状計測での適用範囲が広がり、光源・干渉計・計測系を組み合わせて提案する当社の計測ビジネスに追い風となる。
引用元:OPTRONICS ONLINE