光学関連AI, 半導体
NTT、AI・ロボットの自律実験でβ型酸化ガリウム単結晶膜をスパッタ成膜一世界初
NTTは、AIが過去の実験結果から次の条件を決定しロボットが成膜・評価を実行する自律実験システムにより、次世代パワー半導体材料であるβ型酸化ガリウムの高品質単結晶薄膜をスパッタ法として世界で初めて作製したと発表した。成膜・評価サイクルは従来比約3倍に高速化した。
AI駆動型の材料探索は光デバイス用の窒化物・酸化物薄膜や化合物半導体基板の開発にも展開可能とされ、光電融合デバイスの材料開発サイクル短縮につながり得る手法として注目される。
引用元：ビジネスネットワーク
