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光学関連半導体製造, 露光装置

ニコン、新型アライメントステーション「Litho Booster 1000」を発表——2027年1月発売

ニコンは、半導体製造の露光プロセス向けに計測精度と生産性を高めた新型アライメントステーション「Litho Booster 1000」を2027年1月に発売すると発表した。従来機種比で計測精度を向上させ、露光工程の高度化に対応する。

先端パッケージングやシリコンフォトニクスの微細化は重ね合わせ精度に強く依存しており、露光周辺の計測需要は光電融合デバイスの量産化と歩調を合わせて拡大する。国内露光・計測装置の動向は当社が扱う光計測機器の周辺市場としても追う価値がある。

引用元：OPTRONICS ONLINE