光学関連半導体, レーザー顕微鏡
KEKと筑波大、フェムト秒レーザー光電子顕微鏡で動作中トランジスタ内部の「正孔」を世界初可視化
高エネルギー加速器研究機構 (KEK) と筑波大学の研究グループは、フェムト秒パルスレーザーを光源とする光電子顕微鏡で、動作中の電界効果トランジスタ内部を流れる正孔の空間分布を世界で初めて可視化した。光子エネルギーを近赤外から紫外まで可変とし、機械学習で膜厚の異なる領域を判別して埋もれた界面に蓄積した正孔を観測した。
平均値計測では分からない「デバイス内のどこにキャリアがいるか」を測る手法で、トランジスタに加え太陽電池・LED・光触媒の評価にも展開が見込まれる。超短パルス・波長可変レーザーと高安定光学系が性能を決めるため、当社の超短パルスファイバレーザ・光学部材の研究市場向け提案と直結する。
引用元：OPTRONICS ONLINE
