光学関連メタサーフェス・紫外光学
シュツットガルト大学、シリコンに空孔を刻んだ平面メタサーフェスで紫外光の集光反射鏡を実現-325mmで約1mスポット
シュツットガルト大学の研究チームは、バルクシリコンに 「Mieボイド」と呼ぶ空孔(長さ約470nm・深さ約100nm)を1回のリソグラフィ・エッチングで形成し、0.5×0.7mmの平面メタサーフェスで波長325nmの紫外光を90度偏向しつつ集光することに成功した (Advanced Photonics, doi 10.1117/1. AP. 9. 1.016002)。焦点距離5mm~1.25mmで最小約1mのスポットを得て、NA 0.15まで回折限界に迫る性能を示した。
吸収の大きいシリコンを紫外域の反射光学素子として使える点は、従来の誘電体多層膜ミラーや石英光学系に対する小型・低コストの代替となりうる。生体分子のUV吸収を使うセンシングや分光の小型化に直結し、UV光源・UV対応ファイバ・分光計測の装置系ビジネスに将来的な部材需要をもたらす。
引用元：optics.org
