光学関連メタサーフェス・中赤外
EPFLら、懸架型シリコンメタサーフェスで中赤外を高速変調一Q値約3,000・全光変調2ns
スイス連邦工科大学ローザンヌ校 (EPFL) らは、単結晶シリコン懸架膜に楕円ホールの六方格子を形成したメタサーフェスで、中赤外光のQ値約3,000・振幅コントラスト50%超を達成した。電熱変調14.5kHz、全光変調は応答2nsで、1cm² チップに49個のメタサーフェスを集積している。
CMOS互換プロセスで中赤外の高速変調素子が実現すれば、ガス分析・分子分光やフリースペース光通信の高速化に道が開ける。中赤外光源とスペクトル計測をセットで扱う分光応用領域に直結するデバイス進展だ。
