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光学関連レーザー, 熱特性評価

東レリサーチセンター、超短パルスレーザーを用いたTDTR熱特性評価サービスを開始一先端半導体の発熱課題に対応

東レリサーチセンターは、超短パルスレーザーで試料表面を瞬間加熱し反射率変化から温度応答を測る時間領域サーモリフレクタンス (TDTR) 法による受託評価サービスを開始した。ナノメートルオーダー薄膜の熱伝導率と異種材料界面の熱抵抗を非接触で定量評価し、生成AI向け先端半導体や車載パワー半導体を主対象とする。

CPOや光電融合パッケージでは光素子と電子素子の熱干渉が実装上の最大課題であり、レーザーを用いた非接触熱計測の需要が拡大する。超短パルス光源・光検出系を要する計測アプリとして、当社の光源・計測機器ビジネスに追い風となる領域である。

引用元:Optinews

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