YouTube動画

超短パルスレーザーのパルスエネルギーについて│Vol.99

製品紹介

【sevensixTV】に第99弾の動画を更新しました。

00:18 パルスエネルギーの計算方法
01:06 パルスエネルギーに対する使用用途
02:24 iQoMのパルスエネルギーと活用方法
03:36 開発中の新製品について

超短パルスレーザーのパルスエネルギーについて考え方と使用用途についてご紹介します。
また、『iQoM』の活用方法についても説明致します。

▶ iQoM 特設ページ https://iqom.sevensix.tech/
▶ 製品・デモ機に関するお問合せはこちら
▶ 振動安定性についての動画 超短パルスレーザー『iQoM』動作中に思いっきり振ってみた│Vol.73
▶ 関連動画 『iQoM』の実測データ公開│Vol.58

++++(動画内より一部抜粋)+++++

00:18 パルスエネルギーの計算方法

最初に、パルスエネルギーについて説明します。パルスエネルギーは、超短パルスレーザーを決める上で一つの重要なパラメーターになります。計算式は至ってシンプルで、パルスレーザーの「平均光出力」を「繰り返し周波数」で割ることによって、1パルスあたりのパルスエネルギーを求めることができます。

【パルスエネルギーの計算式】

パルスエネルギーの計算式

例として、出力1W、周波数1Hzのレーザーがあった場合、パルスエネルギーは1J/pulse(1ジュール・パー・パルス)になります。

さらに、フェムト秒レーザーの場合、パルス幅がフェムト秒であるため、光のエネルギーはフェムト秒という極めて短い時間に凝縮されています。このため、フェムト秒レーザーは瞬間的にとても高いピークパワーを持ちます。この高いエネルギーは、微細加工から顕微鏡用途まで幅広く用いられています。

01:06 パルスエネルギーに対する使用用途

更に詳しくパルスエネルギーについて見ていきます。
このグラフは、波長1030nm帯のフェムト秒レーザーにおいて、各パルスエネルギーに対する使用用途を示しています。現在一般的に販売されているイッテルビウム(Yb)系のフェムト秒レーザーのエネルギーに合わせて、1nJ/pulseから1mJ/pulseまで縦軸を設定しています。

パルスエネルギーと使用用途


高エネルギー領域(1μJ ~ 1mJ)

パルスエネルギーが1mJ/pulseに近い領域では、金属加工ガラス加工半導体ウェハーの加工などに多く用いられています。また、1μJ/pulseに近い領域では、薄膜加工樹脂加工などに広く用いられています。

※補足として、物質ごとに加工に必要なパルスエネルギー(加工閾値)は異なります。これは物質の反射率、吸収率、表面状態に大きく依存します。

低エネルギー領域(1nJ ~ 1μJ)

1μJ/pulseより低いエネルギー帯では、主に顕微鏡用途に使用されます。具体的には、多光子顕微鏡光計測TPA(二光子吸収)光重合による3D加工などが挙げられます。生体試料にダメージを与えずに深部を観察する手法として、フェムト秒レーザーは非常に有用です。

また、1nJ/pulse以下の極めて低い領域では、主に増幅器のシード光源として用いられています。

02:24 iQoMのパルスエネルギーと活用方法

続いて、弊社製品である超短パルスレーザー『iQoM(アコム)』のパルスエネルギーを導出します。

iQoMのパルスエネルギーとその立ち位置

iQoMの「1040nmアンプモデル」を例に取ると、平均光出力が80mW、繰り返し周波数が20MHzのため、パルスエネルギーは4nJ/pulseになります。これを先ほどの用途図に当てはめると、iQoMは「シード光源」や「一部の光重合加工」ができる領域に位置します。

これを先ほどの図に当てはめると、次のようになります。

iQoMは光ファイバーで構成された「全ファイバー型共振器」です。この方式の利点は、増幅用の光ファイバーを追加することで、容易にパワーを増幅できる点にあります。

  • カスタマイズ性: 実現したいパルスエネルギーがある場合、各種ファイバモジュールを組み合わせることで自由なカスタマイズが可能です。
  • 安定性: 共振器自体のパワー変動率が非常に小さいため、増幅後の出力も安定します。
  • 追加機能: AOM(光音響素子)によるパルス制御、パワー分岐、波長変換など、ファイバー同士をつなぎ合わせるだけで容易に機能を拡張できます。

iQoMのパルスエネルギーとその立ち位置

03:36 開発中の新製品について

新しいiQoMは、主に多光子顕微鏡光計測光重合加工をターゲットに開発しています。

【目標スペック】

  • パルスエネルギー: 0.2μJ/pulse
  • 平均光出力: 4W
  • 繰り返し周波数: 20MHz
  • 筐体: 1ボックス(オールインワン)構造

この高出力モデルにより、さらに幅広いアプリケーションへの対応が可能になります。
ご興味がありましたら、ぜひお気軽にお問い合わせください。

製品紹介

超短パルスファイバレーザー『iQoM』

「iQoM」は、特許技術により「高信頼・長寿命・小型・低コスト」を実現した、OEM・研究開発に最適な超短パルスファイバレーザー(超短パルス発振器)です。
SESAMフリーの独自技術により、従来の課題であった経年劣化や不安定な始動を克服。安定したピコ秒パルス光源を供給します。

■ 経年劣化する可飽和吸収ミラー(SESAM)を用いない
■ 光パッシブ部品だけのシンプルな構成
■ パルス発振アシスト機能内蔵(パルス発振調整不要)
■ 当社独自のパルス発振手法(特許出願済み)