どーも、技術部の西浦です。

私は埼玉大学の塩田研究室 の博士課程後期課程で、「レーザ加工にも使用できる光コヒーレンストモグラフィの研究開発」をしているのですが、その技術をレーザ微細加工でも応用できないものかなと思い、静岡県工業技術研究所 の 浜松工業技術支援センター様へレーザ微細加工現場を見学させていただきました。

見学では、レーザ微細加工のプロフェッショナルの担当者様にレーザ微細加工用には何が求められているのか？どのような光学系になっているのか？レーザのどのパラメータを変化させたら、サンプルにどのような影響がでるのか？どうやって最適な加工条件を探すか？　ということを初心者にも分かりやすくご説明いただきました。また、私の測定技術が適用可能かを判断するため、アルミ、ステンレスへのサンプル加工（溝、穴）も行っていただきました。

下記は 0.2 mmt のアルミ薄板に 溝加工をしていただいたものです。下の画像は パルスエネルギー 60uJ で加工した アルミ板です。下は 1000倍の光学顕微鏡で加工部分を観察しています。

非常に勉強になり、かつ今後の研究活動における重要なサンプルを提供いただきました。浜松工業技術支援センター様では、高価なレーザを非常に安価な時間貸で使わせていただけます。ぜひ、このブログをご覧いただいた方も微細加工についてご不明な点があれば、ご相談されることをお勧めします。

追記

帰路、浜松駅から出る新幹線 ひかり までの空き時間に 遠州男唄 濱松たんと 浜松駅南口店 で食事をとりました。ここは餃子もホルモンもおいしいお勧めの居酒屋です。ただ、お酒（レモンチューハイだとしても！）を注文した場合、店員さんとカンパイのアイサツをしなければいけないという、一人飲みにはキツイ仕置きが待ってます。。