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Technology 技術情報

発表タイトル

Single-shot, long-range, and zoomable optical tomography and profilometry using a diffraction grating and a CCD camera

概要

NKT Photonics社のスーパーコンティニュームレーザを用いたシングルショットトモグラフィの研究成果について応用物理学会春季大会で発表しました。本発表では、レンズのZ方向の走査なしに、光学的にシングルショットイメージの深さ方向のイメージを拡大、縮小できる機能に重点を置きました。

シングルショット断層イメージ計測システムに設置された空間位相変調器(回折格子)の回折光をCCDへ導くが、回折次数により波面(CCDへの伝播時間)の傾きが回折次数に比例して変化します。

この現象を利用するとシングルショット2次元断層イメージの深さ方向の像のサイズを光学的に可変にすることができます。

図 1のように、SPMへの入射角θinを0 degから16 degへ変化させて回折次数を光学的に選択し、200umガラス板の深さ方向の2次元断層像を1フレームで撮像したものを図 2と図 3に示します。回折次数が大きくなるにつれて深さ方向(横方向)にズームアウトしている様子がわかります。つまり、次数選択により光学的に画像サイズを選択できます。

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